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反射式膜厚測量儀在薄膜厚度測量的應(yīng)用

發(fā)布時間:2021-03-29   點(diǎn)擊次數(shù):2619次
  某客戶來料檢測(PET單層膜/多層):厚度約為40~60μm。

  使用臺階儀或其他萬分尺長度量測儀器,單層能到到準(zhǔn)確的數(shù)值,操做簡單,多層不能直接測量,要做出相對厚度,有臺階的樣品或其他才可以測量。

  使用我們反射式膜厚測試,直接根據(jù)材料特性(單層/多層)設(shè)置好菜單,通過標(biāo)準(zhǔn)硅片校準(zhǔn)后,直接一鍵量測,直接測量出單層/多層膜厚,不會對產(chǎn)品造成損傷,可以離線也可以在線量測。測量多層膜厚基本上不需要單獨(dú)制樣,只是在解析某一膜層折射率(材料庫無信息)時有初次制樣需求。

  反射式膜厚測量儀可用于測量:半導(dǎo)體鍍膜,手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。可測量:2nm到3000μm的膜厚,測量精度達(dá)到0.1nm。 在折射率未知的情況下,還可用于同時對折射率和膜厚進(jìn)行測量。此外,設(shè)備也可用于準(zhǔn)確測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1mm以內(nèi)。
  進(jìn)行測量簡單可靠,實際測量采樣時間低于1秒。

  配合我們的專*軟件進(jìn)行手動測量,每次測量時間低于5秒。軟件支持50層膜以內(nèi)的模型并可對多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測量。我們軟件擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫,同時支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

  同時,客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料,菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測量結(jié)果。

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